以田口式實驗設計分析對原子力顯微鏡之探針可控因子作最適設計

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題名:	以田口式實驗設計分析對原子力顯微鏡之探針可控因子作最適設計 Study on Optimum Controllable Factors of the AFM Probe by using Taguchi Method
作者:	張家碩 Chang, Chia-Shuo
貢獻者:	工業工程與管理系
關鍵詞:	原子力顯微鏡;探針;可控因子;田口式實驗設計分析 AFM;Probe;Controllable Factors;Taguchi Method
日期:	2004
上傳時間:	2008-10-06 13:30:58 (UTC+8)
摘要:	本文探討原子力顯微鏡(Atomic Force Microscope, AFM)之掃瞄方式、掃瞄範圍、針尖與試片形狀、探針設定電流值(Set-Point)對於呈像的影響，並以田口式實驗設計分析(Taguchi Method, TM)進行可控因子(Controllable Factors)之研究，找出最適設計，以達成最精確之量測結果。本文掃瞄方式分為接觸式(Contact Mode)與輕敲式(Tapping Mode)。可控因子包含：(1)掃瞄試片高度以俄國NT-MDT 公司製造之TGZ1、TGZ2兩型標準試片為基準，高度分別為19nm與104nm；(2)探針針尖尖端半徑10~50nm與50~100nm兩種水準；(3)掃描範圍分為6000 nm2與9000nm2；(4)不同的探針設定電流值，於接觸式分為1nA與2nA，於輕敲式分為3nA與5nA。本文反應變數為屬望小特性(Smaller-the-better, STB)之掃描失真率，經由田口式實驗設計分析研究可得到以下結論：Contact Mode掃描適用於試片形狀高度於19nm、探針針尖尖端半徑於10~50nm、Set-Point於2nA，而掃描範圍可於任一水準；Tapping Mode掃描適用於試片形狀高度於19nm、探針針尖尖端半徑於10~50nm、掃描範圍6000 nm2，而Set-Point可於任一水準。於上述因子水準下，Contact Mode與Tapping Mode之掃描失真率可最低。
顯示於類別:	[工業工程與管理系(所)] 【工業工程與管理系所】博碩士論文

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