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    題名: 無塵室系統之量測分析與電腦模擬驗證改善
    Field Tests and Performance Improvement by Numerical Simulation of a Cleanroom
    作者: 李國正
    貢獻者: 冷凍空調系
    關鍵詞: 無塵室;現場量測;計算流體力學;污染控制
    Cleanroom;field-testing;CFD;contamination control
    日期: 2006
    上傳時間: 2008-10-06 14:06:55 (UTC+8)
    摘要: 由無塵室所提供之無塵環境條件對現代化製造產業而言是極為必須的，而無塵室在設計建造完成後需經完整測試以確保其能達到當初設計之規範，並且即使在正式運轉作業時也能持續達到要求等級標準。在本研究中，將以本校微機電實驗室之無塵室作為全尺寸現場量測案例，量測驗證項包括不同工作狀態下之微塵粒子數、風量、紊流強度、溫度和壓差等皆依無塵室法規程序逐一量測分析。然而，由於無塵室在特定的取樣位置仍存在高微塵粒子數，此意謂仍有改善污染控制的必要，因此吾人搭配現場作的實驗數據與計算流體力學(CFD)進行模擬氣流特性，並提出各種改善方案及評估較少支出的改進策略。此外，亦針對無塵室中不同衣著之熱舒適性影響及無塵室之能源消耗進行分析。由電腦模擬結果顯示，氣流的改進不僅可透過增加風機濾網機組的數量來達成，亦可更經濟地藉由適當地安排回風格柵位置而加以改善，因此，當無塵室進行修繕處理時，使用CFD來輔助預測模擬將可有效降低嘗試錯誤之時間耗費並協助吾人找尋最佳改善方案。
    顯示於類別:[冷凍空調與能源系(所)] 【冷凍空調與能源系】博碩士論文

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