容量控制冷凍系統運用於製程冷卻機之性能分析

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題名:	容量控制冷凍系統運用於製程冷卻機之性能分析 Performance analysis of capacity-control refrigeration systems for process cooler application
作者:	林育俊 Lin, Yu-Jun
貢獻者:	冷凍空調系
關鍵詞:	熱氣旁通;吸氣調節;變頻;容量控制;製程冷卻 Hot-gas by-pass;Suction throttling;Inverter;Capacity control;Process cooling
日期:	2008
上傳時間:	2008-10-06 14:07:13 (UTC+8)
摘要:	在半導體與微機電系統製程中高精度之加工製程通常需藉由使用精確控制之製程冷卻方可達成，隨著微製程對精度及穩定度要求日益提高，也使得透過適當控制良好的製程冷卻器系統成為不可或缺，然而，製程冷卻器系統常由於製程加工對象及產量不同，其所產生之熱源負載亦會有多不同，常易造成溫度控制不穩定之餘熱餘冷現象而導致製造精度無法達成。因此，本研究自行組裝一套製程冷卻器系統，運用三種可變容量系統以熱氣旁通、吸氣調節及變頻等系統進行操作性能實驗探討，針對不同的控制變數（熱氣旁通量、吸氣調節量及運轉頻率）、膨脹裝置（毛細管及感溫式膨脹閥）及不同製程水溫時，對冷卻器系統之性能進行分析，並透過比例式熱氣旁通閥、吸氣調節閥與變頻器來精確控制冷凍容量，以達到恆定製程冷卻器溫度之控制。此外，也將量測並分析在不同負載時之壓縮機耗功情形，以控制節能之可能性。由實驗結果顯示，熱氣旁通與吸氣調節系統製程冷卻系統不僅可較變頻器控制系統經濟，且亦可在不同熱源負載變動時提供穩定之製程冷卻溫度及部分負載時之能源節約，因此亦可以提供精密製程加工冷卻時之重要參考。
顯示於類別:	[冷凍空調與能源系(所)] 【冷凍空調與能源系】博碩士論文

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