精密定位平台非線性最佳化參數估測分析

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題名:	精密定位平台非線性最佳化參數估測分析 Nonlinear Optimal Parameter Estimation for a Precision Positioning Table
作者:	黃麟翔 Huang, Lin-Hsiang
貢獻者:	機械工程系
關鍵詞:	Wiener-Hammerstein系統;精密定位平台;背隙 Wiener-Hammerstein system;Precision Positioning Table;backlash
日期:	2007
上傳時間:	2008-10-06 14:41:39 (UTC+8)
摘要:	精密定位平台目前已普遍應用於CNC工具機、自動化和半導體產業等。而隨著科技的進步精密定位平台所要求的定位精度亦愈來愈高，使得在微小尺寸下非線性現象如遲滯(hysteresis)、背隙(backlash)、熱變形等因素所造成的影響無法再被忽視。本論文針對精密定位平台系統之非線性特性中的背隙現象來做探討，建立Wiener-Hammerstein型式之系統模型與系統數學方程式，並以最大概似法(Maximum Likelihood)配合Rosenbrock系統識別原理來估測出平台各部的最佳化參數，最後比較平台實際參數與估測所得之輸出兩者的誤差。論文中也將建立系統的噪音動態模型。
顯示於類別:	[機械工程系(所)] 【機械工程系】博碩士論文

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