可多方式水平橫向運動之電熱式微致動器的特性研究

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Title:	可多方式水平橫向運動之電熱式微致動器的特性研究 Characterization of an electro-thermal microactuator with multi- in-plane lateral motion'
Authors:	潘吉祥;陳義坤
Contributors:	機械工程系 Department of Mechanical Engineering
Keywords:	電熱式微致動器;可多方式水平橫向運動
Date:	2003-12
Issue Date:	2008-12-23 10:26:59 (UTC+8)
Publisher:	勤益科技大學
Abstract:	本文提出一嶄新的電熱式微致動器，只要藉由改變施加電壓則可產生多方式水平橫向位移運動。此致動器是採取Pan(1997)及Guckel(1992)所提出之致動器的特色整合而成，其操作原理乃基於結構中(1)不同長度及斷面積的樑臂，(2)選擇性摻雜使樑臂具不同電阻係數值，導致結構不對稱性熱膨脹，而產生變形位移。本文以商用有限元素軟體ANSYS進行致動器之電-熱-力性能分析，驗證設計此致動器的可行性，並且針對影響致動器性能之重要設計參數，如：結構尺寸、選擇性電阻摻雜及熱傳邊界狀況，進行其特性研究。此致動器可藉由改變樑臂之尺寸及電阻係數，而獲得符合最佳性能之需求。
Relation:	勤益學報 21(2) p.303-323
Appears in Collections:	[National CHIN-YI University of Technology] 勤益學報

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