超精密加工元件之輪廓誤差補正最佳化

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题名:	超精密加工元件之輪廓誤差補正最佳化
作者:	國立勤益科技大學蔡國銘;謝忠祐;曾盈嘉;蔡清富
贡献者:	圖書館
日期:	2010-05-26
上传时间:	2012-04-14 09:37:09 (UTC+8)
摘要:	超精密加工是一種廣用於精密光學元件的製造技術，然由於加工機器及刀具的誤差常導致所加工之模仁有所誤差，進而使其射出成形之光學鏡片也產生誤差，因此，為達到高精度要求，進行模仁誤差補正加工是非常必要的過程。本研究在建立超精密加工元件之輪廓精度補正技術，藉由使用不同的擬合函數分別對非球面模仁及其所射出成形的光學鏡片量測所得之輪廓誤差進行曲線擬合以獲得其誤差補正程式，遂進行模仁誤差補正加工後，探討模仁及光學鏡片輪廓誤差的改善情況，以獲得這些元件之輪廓誤差的最佳補正方式。本研究自行建立輪廓誤差補正程式，所使用的擬合函數有多項式(Polynomial)、雲線(Spline)及指數(Exponential)三種，擬合過程中則使用最大陡降法(Steepestdescent)、單形法(Simplex)、Levenberg-Marquard法及高斯-牛頓法四種演算法進行數值計算。由實驗結果可知，在對非球面模仁進行誤差補正加工後，模仁和光學鏡片所得之輪廓精度皆以指數函數搭配高斯-牛頓法(Gauss-Newton)演算法的補正結果最佳，模仁之輪廓誤差可由0.4569μm 降低至0.0958μm，改善率達79%；而其射出成形之光學鏡片的輪廓誤差則由8.3432μm 降低至0.7072μm，其改善率可達91.52%。因此，使用此誤差擬合補正加工技術，可有效的提升模仁及射出光學鏡片之輪廓精度。
關聯:	2010綠色科技工程與應用研討會論文集
显示于类别:	[機械工程系(所)] 【機械工程系】研討會論文

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