本研究藉由改變單晶矽太陽電池上下電極結構,探討在不同電極形式對單晶矽太陽電池之影響。利用ITO(Indium Tin Oxide)光線高穿透度之特性與銀膜之高導電性能,披覆於單晶矽光電池上,增加矽晶太陽電池可吸收光線之面積,以達到增加太陽電池光電轉換效率之結果。實驗採用含磷之溶膠凝膠溶液作做為磷擴散源,藉由旋轉塗佈法旋塗於單晶矽晶圓上,接著利用高溫退火形成p-n接面後,以此基板披覆不同結構之銀薄膜與ITO薄膜作為電極,並探討熱處理對不同電極結構的影響。本研究指出對於單晶矽太陽電池而言,使用純ITO導電膜作為單晶矽太陽電池之正面電極有最高的效率,正面電極使用ITO覆蓋在銀電極上之單晶矽太陽電池,其光電轉換效率較低,光電轉換效率最低的結構是使用銀電極當作正面電極。