射頻濺鍍製備太陽能電池緩衝層ZnS薄膜成長與性質研究

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Title:	射頻濺鍍製備太陽能電池緩衝層ZnS薄膜成長與性質研究
Authors:	國立勤益科技大學機械工程學系林奕辰;宋寰欣;張子欽
Contributors:	圖書館
Date:	2010-05-26
Issue Date:	2012-04-14 10:12:58 (UTC+8)
Abstract:	對CIGS薄膜太陽能電池，薄膜材料本身的特性影響著電池元件的效率，藉由緩衝層材料品質的改善，有助於效率的提升，本實驗採用硫化鋅陶瓷靶(純度99.99%)，以射頻磁控反應濺鍍沉積硫化鋅薄膜，藉以增加能隙寬度，晶粒結構緻密的薄膜，同時也探討濺鍍硫化鋅對於CIGS吸收層接面的影響。實驗結果以XRD分析，發現硫化鋅薄膜結構為六方晶纖維鋅礦(Wurtzite)，其薄膜成長優選方向(002)面為主，以掃瞄電子顯微鏡(SEM)觀測發現，薄膜由近似圓柱結構所組成，以紫外光/可見光分光光譜儀系統量測，光穿透率皆有在80%以上。經由薄膜光學能隙分析為3.9eV。
Relation:	2010綠色科技工程與應用研討會論文集
Appears in Collections:	[Department of Mechanical Engineering] 【機械工程系】研討會論文

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