空氣水洗機去除氨氣之效率分析

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Title:	空氣水洗機去除氨氣之效率分析
Authors:	何俊河謝文健
Contributors:	國立勤益科技大學冷凍空調與能源系
Keywords:	MAU 空氣水洗機 AMC 氨氣
Date:	2009-10-14
Issue Date:	2012-08-08 09:47:24 (UTC+8)
Publisher:	國立勤益科技大學工程學院
Abstract:	本文以現地實測方式介紹利用外氣空調箱(MAU, Make-up Air Unit)的空氣水洗機（Air Washer）將影響晶圓半導體廠製程良率的氣態分子污染物(AMC, Airborne Molecular Contaminant)中之氨氣加以去除，調整水洗機的循環水量、水溫及水質（導電度）藉以觀察空氣水洗機去除氨氣的效能。經過本實驗結果得知在中部科學園區，空氣氨氣濃度在10~49ppb間的環境條件中，得到空氣水洗機在循環水量250LPM、循環水溫12℃、導電度小於15μs/cm時，MAU的出口氨氣濃度可控制於6.5ppb以下；當循環水量為500LPM、水溫控制於12℃、導電度小於10μs/cm時，MAU出口氨氣濃度可控制於5ppb以下，，相同條件下循環水溫於14℃時，出口氨氣濃度可控制於4.5ppb以下。循環水量對水洗機的氨氣去除效率影響較水溫明顯，高循環水量去除效率及出口濃度優於低循環水量，而循環水量與出口濃度間之變化為非線性關係。
Relation:	2009綠色科技工程與應用研討會論文集
Appears in Collections:	[Department of Refrigeration & Air Conditioning] 【冷凍空調與能源系】研討會論文

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