半導體廠冷卻水塔異常泡沫改善案例分析

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題名:	半導體廠冷卻水塔異常泡沫改善案例分析
作者:	王輔仁賴裕元魏志昌
貢獻者:	國立勤益科技大學冷凍空調與能源系(所)
關鍵詞:	冷卻水塔冷卻水質處理消泡機制
日期:	2009-10-14
上傳時間:	2012-08-27 09:30:38 (UTC+8)
出版者:	台中市：國立勤益科技大學工程學院
摘要:	在目前半導體產業之中大多都有將製程廢水再次回收利用，以供應給中央空調冷卻系統中的冷卻水塔作為冷卻水補充水源，雖具有極佳之經濟效益，但在實際半導體廠運轉上會因為補充水源中之總有機碳(Total Organic Carbon，TOC)過高，提供微生物滋長的環境，進而在冷卻過程中產生大量泡沫。本文研究分析台中地區某一晶圓半導體廠最近1年來實廠運轉經驗，對於半導體廠冷卻水塔水質管理上所遭遇之大量泡沫問題，進行研究提出改善對策。因此本研究以一半導體廠製程廢水回收利用於中央空調冷卻系統之冷卻水塔補充水源，實廠運作後冷卻水塔內產生大量泡沫情形，藉由問題改善方案的測試及應用，成功的排除異常泡沫所造成之問題。由實驗結果可看出其透過本研究，可有效減少泡沫溢散問題，並可減少消泡藥劑使用，進而降低水質處理成本。
關聯:	2009綠色科技工程與應用研討會論文集, 54-58
顯示於類別:	[冷凍空調與能源系(所)] 【冷凍空調與能源系】研討會論文

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