變頻製程冷卻系統之容量控制性能測詴分析

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題名:	變頻製程冷卻系統之容量控制性能測詴分析
作者:	李浩銓江旭政王輔仁高健維
貢獻者:	國立勤益科技大學冷凍空調與能源系
關鍵詞:	變頻性能分析製程冷卻容量控制
日期:	2009-10-14
上傳時間:	2012-08-27 10:19:09 (UTC+8)
出版者:	台中市：國立勤益科技大學工程學院
摘要:	在半導體與微機電系統製程中高精度之加工製程通常需藉由使用精確控制之製程冷卻方可達成，隨著微製程對精度及穩定度要求日益提高，也使得透過適當控制良好的製程冷卻器系統成為不可或缺，然而，製程冷卻器系統常由於製程加工對象及產量不同，其所產生之熱源負載亦會有多不同，常易造成溫度控制不穩定之餘熱餘冷現象而導致製造精度無法達成。因此，本研究組裝一套製程冷卻器系統，運用可變容量系統以變頻控制系統進行操作性能實驗探討，針對不同的控制變數及運轉頻率、膨脹裝置（毛細管及感溫式膨脹閥）及不同製程水溫時，對冷卻器系統之性能進行分析，此外，也將量測並分析在不同負載時之壓縮機耗功情形，以控制節能之可能性。由實驗結果顯示變頻器控制系統可在不同熱源負載變動時提供穩定之製程冷卻溫度及部分負載時之能源節約，因此亦可以提供精密製程加工冷卻時之重要參考。
關聯:	2009綠色科技工程與應用研討會論文集, 95-102
顯示於類別:	[冷凍空調與能源系(所)] 【冷凍空調與能源系】博碩士論文

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