應用環保冷媒於工具機冷卻器之性能測試及可用能分析

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題名:	應用環保冷媒於工具機冷卻器之性能測試及可用能分析
作者:	王輔仁高健維王耀駿李浩銓工業技術研究院能源與環境研究所
貢獻者:	國立勤益科技大學冷凍空調與能源系工業技術研究院能源與環境研究所
關鍵詞:	熱力學第二定律分析製程冷卻性能分析可用能探討
日期:	2009-10-14
上傳時間:	2012-08-28 15:05:52 (UTC+8)
出版者:	台中市：國立勤益科技大學工程學院
摘要:	在半導體與微機電系統製程中，高精度之加工製程通常需藉由使用工具冷卻器達到溫控的目的，因此製程冷卻機在工具機產業扮演著不可或缺的角色。且隨著能源與環保意識高漲，將使用環保冷媒R-407C於工業製程冷卻器並進行實驗，及如何在能量轉換中將損失降至最低，能源使用效率為第一重要指標。因此本研究將以熱力學第一定律與第二定律，分析工具冷卻機系統之性能，則搭配壓縮機變頻調整容量及改變在不同風扇頻率時，探討冷卻器系統於不同散熱情形下及不同壓縮機轉速下之性能分析探討其各元件耗能的狀態。由實驗結果可看出其散熱愈差及壓縮機轉速愈低時其冷凝器的可用能損失將為最大，最後並整合實驗系統分析之結果做為未來使用者重要指標，以期能對工具機冷卻機有更深入的了解及作為，也將提供精密製程加工冷卻時之重要參考。
關聯:	2009綠色科技工程與應用研討會論文集, 356-361
顯示於類別:	[冷凍空調與能源系(所)] 【冷凍空調與能源系】研討會論文

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