高熵合金氮化物薄膜被覆於超硬刀具表面製程之微結構與切削性

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題名:	高熵合金氮化物薄膜被覆於超硬刀具表面製程之微結構與切削性
作者:	張子欽宋寰欣林奕辰
貢獻者:	國立勤益科技大學機械工程學系
關鍵詞:	高熵合金熱穩定性微結構機械性質無潤滑切削
日期:	2009-10-14
上傳時間:	2012-08-28 15:39:26 (UTC+8)
出版者:	台中市：國立勤益科技大學工程學院
摘要:	近年來，由於3C 產品如印刷電路板等，為避免產品上的精密電路遭受污染，因此無法於產品加工時添加切削液降低刀工具及工件溫度，導致在高速切削、重切削及工件溫度攀昇極快的加工環境下，易產生高溫而致使刀工具加速磨耗，降低其使用壽命，因而提高生產成本。為因應上述高速加工所衍生之高溫加工環境，因此利用射頻磁控濺鍍系統，首先於碳化鎢刀具及矽晶片基材上，沈積被覆高熵合金鍍膜，其鍍膜厚度以射頻磁控濺鍍系統控制在1-2m之間以研究TiVCrZrAlN高熵合金氮化物鍍膜在碳化鎢基材上的附著性、耐磨耗性，並探討薄膜微結構、以其製程條件分析TiVCrZrAlN 高熵合金薄膜對碳化物刀具的附著性與熱穩定性，從 SEM 表面形貌觀察發現隨著氮氬百分比增加促使整個薄膜緻密性變好。使用高速主軸，在無潤滑切削環境下以動態方式實際機械加工熱作模具鋼 SKD11 材料，由OM 與SEM 顯微鏡的觀察下可看出TiVCrZrAl 氮化物薄膜的刀具進行高轉速與高進給的切削條件下切削阻力比未披覆薄膜的小，切屑表面情況也較為平順刀具壽命因此而延長。
關聯:	2009綠色科技工程與應用研討會論文集, 372-375
顯示於類別:	[機械工程系(所)] 【機械工程系】研討會論文

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