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    題名: 單、雙層陶金吸收層之比較
    作者: 林明賢
    鄭文達
    貢獻者: 國立勤益科技大學
    關鍵詞: 陶金
    磁控濺鍍機
    選擇性吸收
    日期: 2013-05-24
    上傳時間: 2013-07-05 14:59:58 (UTC+8)
    出版者: 台中;滄海書局
    摘要: 本實驗為利用真空磁控濺鍍機來製備陶金選擇性吸收膜。首先將玻璃作為襯底、W及
    SiO2作為濺鍍靶材，以改變W之濺鍍功率、固定SiO2之濺鍍功率的方式來製備出不同金屬含
    量之陶金吸收膜，利用多功能色相儀(MFS-630)來量測其穿透率及反射率的變化，藉以比較
    不同金屬含量之陶金吸收膜其吸收率之優劣。
    本文利用改變W靶濺鍍瓦數(5瓦、10瓦、20瓦、30瓦、40瓦)的方式來製備出不同金屬
    含量之陶金吸收膜，並以兩兩搭配的方式製備出不同配比的雙層選擇性吸收層，發現到當以
    雙層陶金吸收膜做為吸收層時其吸收率比單層吸收層時提升了22%。
    關聯: 2013綠色科技工程與應用研討會
    顯示於類別:[化工與材料工程系(所)] 【化工與材料工程系所】研討會論文

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