電容式微型振動發電器之設計與製造

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Title:	電容式微型振動發電器之設計與製造
Authors:	潘吉祥吳永仁
Contributors:	國立勤益科技大學
Keywords:	電容式發電器微型振動雙穩態
Date:	2013-05-24
Issue Date:	2013-07-05 15:41:40 (UTC+8)
Publisher:	台中;滄海書局
Abstract:	本文藉由微機電技術開發出以振動能作為發電之電容式微型發電機。本文設計之能量擷取結構之可變電容器分兩種：一種為共平面式梳齒狀電容結構；另一種為共平面式平板狀電容結構。在懸吊結構的設計上，本文特別以雙穩態結構為懸吊結構，除了能增加電容結構間距位移或面積重疊之變化量，以致提高電容值之變化，更可提高微型發電機在非共振操作下之可行性。本文首要針對此微型發電機之雙穩態懸吊結構設計及機-電耦合效應，作理論解析及使用ANSYS 有限元素法進行模擬分析。製程上，利用SOI 晶片深蝕刻加工製造，以增加高深寬比的結構。元件大小在1300μm700μm2μm，經實驗量測，測得最大輸出電容為1.7pF，其中包含寄生電容。而MMA 量測頻率響應在230kHz 時有 7μm 位移。
Relation:	2013綠色科技工程與應用研討會
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