開發一結合雷射位移計及光學影像顯微術之嶄新檢測平台

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題名:	開發一結合雷射位移計及光學影像顯微術之嶄新檢測平台
作者:	劉建國潘吉祥
貢獻者:	機械工程系
關鍵詞:	檢測平台雷射位移計光學影像顯微術即時同位檢測
日期:	2012-06
上傳時間:	2013-07-22 15:50:31 (UTC+8)
出版者:	台中;國立勤益科技大學
摘要:	本研究以一般實驗室常用之探針台(Probe station)改建為共同檢測平台(common detection platform)，利用所設計的治具，將雷射位移計探測頭結合於探針台的顯微接物鏡座上，使光學影像顯微術(optical image microscopy)與雷射位移計(laser displacement meter)之檢測功能整合於同一平台上。當使用CCD影像擷取器及影像處理系統(Matrox Inspector 3.1) 進行待測試片之共平面上(in-plane)(X-Y平面)的檢測分析後，直接旋轉接物鏡座，將雷射位移計探測頭旋至於待測試片上，則可進行後續待測試片在離平面(out-of plane)(Z方位)的檢測分析，如此可在平台原位上(in-situ) 同時進行平面及離平面之檢測，增進操作的方便性及節省檢測時間，待測試片不需重新定位，檢測精確度也因此提高。本系統將經由NanoFocus共軛焦3D 光學表面形貌量測儀及MTI-2000非接觸光纖測量儀進行比對與校正，來驗證此系統之精度，並以靜電力驅動之懸臂樑(electro-static cantilever beam)的靜動態變形，以及微測試結構(micro test structures)在微型加熱爐進行熱處理的觀測做為實驗範例，進行檢測平台之性能測試。透過本裝置可應用於半導體、光電、微奈米機電系統產品元件以及高精度加工業的尺寸位移量測、表面輪廓形貌量測、靜態及動態特性量測等，經濟便宜且實用普及性極高，具有相當的創新意義。
顯示於類別:	[機械工程系(所)] 【機械工程系】博碩士論文

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