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    題名: 鑽石磨粒篩分運動型態與過篩分析之研究
    作者: 李秉學
    蔡明義
    貢獻者: 機械工程系
    關鍵詞: 單顆磨粒
    鑽石
    篩分
    晶形
    日期: 2012
    上傳時間: 2013-07-22 16:13:17 (UTC+8)
    出版者: 台中;國立勤益科技大學
    摘要: 篩選分級方式仍為目前工業科技中不可或缺的關鍵技術,磨粒粒徑分佈亦是決定品質的關鍵。以化學機械拋光(Chemical mechanical polishing or planarization;CMP)所使用的鑽石修整器為例,鑽石磨粒尖點分佈,對拋光品質有決定性的影響。因此本研究針對鑽石晶形於不同振幅、頻率、通過率以及通過時間和磨粒運動型態進行分析,並且亦探討多顆磨粒篩分與單顆磨粒進行交叉比對。實驗結果顯示,單顆磨粒外形越不完整,其過篩率有下降趨勢,另外亦發現由於其接觸面積增加以及不規則的接觸面,易造成磨粒堵塞於篩孔及跳離篩孔的情形。在多顆磨粒方面,實驗顯示磨粒易產生團聚現象。其中磨粒越小,其團聚現象更為明顯,進而造成過篩率下降。此外高頻篩分具有高速且連續性的振動,因此低振幅即可改變磨粒運動型態,且有效降低磨粒與篩孔間的摩擦力,進而提高篩分效率;低頻篩分由於振幅頻率不高,屬於間斷性的振動,雖然可以將堵塞的磨粒瞬間振動跳離篩孔,然而因磨粒易彈跳,增加篩分時間。實驗亦發現磨粒篩分運動型態以停滯、旋轉以及跳動為主。除此之外,破碎晶形易堵塞篩網,建議使用低頻間斷性高振幅的篩分設備。而完整晶形之磨粒,建議使用高頻低振幅的篩分設備,有效減少篩分時間及提升篩分效率。
    顯示於類別:[機械工程系(所)] 【機械工程系】博碩士論文

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