電容式微型振動發電器之設計與製造

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题名:	電容式微型振動發電器之設計與製造
作者:	林昀廷潘吉祥
贡献者:	機械工程系
关键词:	電容式發電器微型振動
日期:	2012
上传时间:	2013-07-23 13:13:55 (UTC+8)
出版者:	台中;國立勤益科技大學
摘要:	本論文藉由微機電技術開發出以振動能作為發電之電容式微型發電機。本論文設計之能量擷取結構之可變電容器分成兩種：一種為共平面式梳齒狀電容結構；另一種為共平面式平板狀電容結構。在懸吊結構的設計上，本論文特別以雙穩態結構為懸吊結構，除了能增加電容結構間距位移或面積重疊之變化量，以致提高電容值之變化，更可提高微型發電機在非共振操作下之可行性。雙穩定懸吊結構之設計又分成平行式型及橈曲式機構型。本論文首要針對此微型發電機之雙穩態懸吊結構設計及機-電耦合效應，作理論的解析及使用ANSYS有限元素方法進行模擬分析。在製程上，利用SOI晶片深蝕刻加工製造，以增加高深寬比的結構。元件大小在1300m700m2m，經實驗量測，測得最大輸出電容為1.7pF，其中包含寄生電容。而MMA量測頻率響應在230kHz時有7m位移。
显示于类别:	[機械工程系(所)] 【機械工程系】博碩士論文

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