鋁基板成長氧化鋅奈米柱之微結構特性分析

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Title:	鋁基板成長氧化鋅奈米柱之微結構特性分析
Authors:	蕭曜賢陳正和林金雄
Contributors:	機械工程系
Keywords:	水溶液法奈米柱纖維鋅礦結構氧化鋅六方晶系
Date:	2012
Issue Date:	2013-07-23 13:37:05 (UTC+8)
Publisher:	台中;國立勤益科技大學
Abstract:	本研究利用水溶液法將氧化鋅(ZnO)一維奈米結構成長於鋁基板上，氧化鋅具有寬能隙(室溫下約3.37 eV)為直接能隙半導體，且在室溫下有60 meV之激子束縛能，相較於氮化鎵(25meV)來的更穩定，屬於六方晶系的纖維鋅礦結構(Wurtzite structure)，氧化鋅也是一種金屬氧化物的n-type半導體材料，因此在室溫下非常適合做為光電元件之應用。本實驗(一)用硝酸鋅(C4H6O4Zn･2H2O)和六亞甲基四胺(C6H12N4)以濃度1:1之水溶液混和，並濺渡氧化鋅晶種層(ZnO seed layer)於鋁基板上，最後以不同的溫度成長一維氧化鋅奈米結構。實驗(二)同樣以硝酸鋅(C4H6O4Zn･2H2O)與六亞甲基四胺(C6H12N4)以濃度1:1之水溶液混和，使用無濺渡之氧化鋅晶種層的鋁基板，一樣利用不同的溫度直接將氧化鋅奈米柱成長在鋁基板上。之後以場發射掃描式電子顯微鏡(FE-SEM)觀察氧化鋅奈米結構，利用X-光薄膜繞射儀(XRD)作一維氧化鋅奈米結構結晶方向之分析，結果發現一維氧化鋅奈米結構之XRD繞射圖譜與Wurzite晶型的氧化鋅的繞射圖譜相符合，都具有很強的(002)繞射峰出現。並藉由光致螢光光譜儀(PL)分析氧化鋅奈米結構之螢光光譜。
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