12吋半導體廠能源消耗與節能方案研究

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題名:	12吋半導體廠能源消耗與節能方案研究
作者:	林照閔駱文傑吳友烈
貢獻者:	冷凍空調與能源系
關鍵詞:	潔淨室廠務系統高科技節能
日期:	2010
上傳時間:	2013-07-24 14:36:39 (UTC+8)
出版者:	台中;國立勤益科技大學
摘要:	近年來半導體晶圓廠隨著新世代製程技術演變，產品由8吋晶圓演變成12吋晶圓，生產廠房面積越來越大，相對生產廠房耗能也提高。本研究以一座12吋半導體廠潔淨空調系統與廠務設施進行耗能指標分析與節能案例研究。利用資料收集統計12吋半導體晶圓廠耗能計算模式與廠務設備能源消耗基準值，針對12吋半導體晶圓廠廠務系統案例進行節能效益討論與建議。廠務系統耗能指標以一座12吋半導體廠統計平均耗電量，進行相關系統耗能分析例如MAU 熱源與運送能源、排氣系統運送能源、壓縮空氣供給能源、純水系統供給能源、製程冷卻水製造與運送能源等進行統計分析。以12吋半導體廠節能方案進行節能效益討論，案例1有機物處理系統採用直燃式與蓄熱回收式瓦斯耗能比較，案例2冷卻水塔風扇用高低速運轉與變頻器能源消耗比較，案例3無塵室低真空系統採用Phone Call 控制PUMP 起停，設置Phone Call 前後PUMP運轉節能效益分析，案例4無塵室外氣空調箱採用Run Around系統熱回收，進行Run Around系統運轉最佳化節能效益分析，案例5辦公區一般空調系統採用日夜間控制模式運轉耗能比較，案例6辦公區停車場排氣系統時間控制最佳化設定運轉產生之節能效益。本12吋半導體廠以6個案例去推動，1年可節省費用為15,612,920元。
顯示於類別:	[冷凍空調與能源系(所)] 【冷凍空調與能源系】博碩士論文

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