半導體廠冷卻水塔水質管理及改善策略分析

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题名:	半導體廠冷卻水塔水質管理及改善策略分析
作者:	賴裕元王輔仁
贡献者:	冷凍空調與能源系
关键词:	冷卻水質處理冷卻水塔製程回收水
日期:	2010
上传时间:	2013-07-24 15:00:28 (UTC+8)
出版者:	台中;國立勤益科技大學
摘要:	目前半導體產業之中大多都有將製程廢水再次回收利用，以供應給中央空調冷卻系統中的冷卻水塔作為冷卻水補充水源，雖具有極佳節水減排之經濟效益，但在實際半導體廠運轉上會因為補充水源中低pH 值、低鈣硬度、低M-鹹度之情形，造成水中偏向腐蝕的狀態，進而在冷卻過程中造成冷卻水系統相關設備及管路嚴重腐蝕問題。本文研究分析台中地區某一晶圓半導體廠最近2年來實廠運轉經驗，對於半導體廠冷卻水塔水質管理上所遭遇之嚴重腐蝕問題，進行研究提出改善對策。此外，並針對半導體廠製程廢水回收利用於中央空調冷卻系統之冷卻水塔補充水源，實廠操作運轉後冷卻水系統產生嚴重腐蝕情形，藉由問題改善方案的測試及應用，成功地排除並降低腐蝕所造成之問題。由現場長期實驗結果可看出可有效減少腐蝕問題，減少系統故障風險。並且利用各項水質評估指標進行改善，並重新檢驗水質控制範圍合適性，並透過水質管理資料建立，進行相關追蹤及分析檢討改進，尋找水質管理最適化運轉模式及改善運轉控制策略。
显示于类别:	[冷凍空調與能源系(所)] 【冷凍空調與能源系】博碩士論文

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