半導體廠外氣空調箱系統節能量測與分析

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題名:	半導體廠外氣空調箱系統節能量測與分析
作者:	魏志昌王輔仁
貢獻者:	冷凍空調與能源系
關鍵詞:	半導體廠房外氣空調箱熱能回收循環系統節能裝置雙冰水溫度盤管
日期:	2010
上傳時間:	2013-07-24 15:16:55 (UTC+8)
出版者:	台中;國立勤益科技大學
摘要:	12吋半導體廠空調系統耗能佔了全廠用電量的28％，而供應無塵室維持正壓的外氣空調箱系統，所佔的耗能更佔了整個空調系統耗能的42％，因此有效降低外氣空調箱的能耗，成了各電子廠極重要的課題。因此本文針對在外氣空調箱中進行二項節能研究，第一項是預熱盤管及再熱盤管串接成一迴路(即round-around coil)，並搭配一循環水泵運轉，可有效的降低外氣的焓值，降低預冷盤管的冷卻負荷，而且回收的熱能又能當作再熱盤管的再熱使用，達到雙重節能的目的。由研究結果發現透過實際外氣空調箱運轉所紀錄的數據分析，一座12吋半導體廠外氣空調箱設置熱能回收循環系統，每年可節省的電費可達320萬元以上，為一有效的節能裝置。而使用第二項是在外氣空調箱採用5℃/9℃雙冰水盤管設計裝置，一年可有效節省冰水系統運轉費用約新台幣822萬元。此研就結果將可提供半導體廠務管理人員進行空調節能策略應用時之重要參考。
顯示於類別:	[冷凍空調與能源系(所)] 【冷凍空調與能源系】博碩士論文

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