薄膜電晶體液晶顯示器產業(TFT-LCD)往往需要靠大量之製程排氣，將製程機台生產運轉過程中所產生之酸、鹼、有機溶劑、毒性氣體、高溫氣體、高濕氣體及含有particle之製程排氣排出潔淨室，進行處理後再行排放，以避免大量化學品之擴散，造成交互污染影響產品或影響操作人員安全；而潔淨室亦需控制為正壓來避免外界空氣滲入之污染，因此皆設有外氣空調箱(Make-up Air Unit ,MAU)，供應大量之外氣來維持潔淨室之正壓。
台灣地區夏季既熱且濕，外氣空調箱所供應之外氣，需經過多道溫溼度調節控制之過程，在處理過程中將耗用大量空調之能源；大量製程排氣需求，導致外氣空調箱之供應風量隨之增大，造成冰水系統負載之增加。
本研究針對製程排氣中之一般排氣，分析透過不同類型之一般製程排氣回收再利用，減少MAU之供應風量，減輕冰水系統之負載，探討降低處理成本之可行性，並分析各種回收機制之總處理成本，依不同排氣溫度分析回收節能效益。在台南地區97年外氣條件下，一般排氣溫度42℃以下之處理成本，小於外氣空調箱之處理成本，具有回收效益。
