薄膜電晶體液晶顯示器產業(TFT-LCD)急速發展，製程技術日益迫切，一般於建廠設計中，因考量設備擴充或製程環境符合潔淨度規範，FFU空調系統均有過量設計(over design)現象，往往無法兼顧節約能源之設計；節省能源成本必為光電廠潔淨室設計與運轉成本考量之重要的一環。潔淨室皆設有外氣空調箱(Make-up Air Unit, MAU)並引入極為大量之外氣，維持環境正壓，相對的也因而造成能量消耗，再者亦需利用風扇濾網組(Fan Filter Unit, FFU)空調系統推動潔淨室氣流，使用高效率濾網(HEPA)環境空氣以維持潔淨度，避免大量微塵粒子污染製程環境進而影響生產品質。對於高科技產業而言，少則數千台，多者上萬台，耗能亦極為可觀。本文將研究分析台南地區某光電廠部份製程區中FFU設置執行減量，於關閉部份FFU過程中觀察環境之微塵粒子、溫濕度之變化情形及關閉FFU空調系統過程中減少潔淨室顯熱，進而觀察冰水系統耗電量之節能分析。長期量測結果顯示FFU覆蓋率約60%設置約4,326片HEPA，FFU減量至覆蓋率約47%時約2,756片HEPA時；每年節省能源約163萬kWh，且潔淨室之環境潔淨等級不變。
