以智慧型方法於太陽能電池晶圓切割之研究

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Title:	以智慧型方法於太陽能電池晶圓切割之研究
Authors:	薛育嘉林正堅
Contributors:	資訊工程系
Keywords:	模糊理論瑕疵偵測晶圓切割位能函數路徑規劃
Date:	2012
Issue Date:	2013-08-07 13:59:42 (UTC+8)
Publisher:	台中;國立勤益科技大學
Abstract:	由於太陽能電池晶圓在生產過程中，容易在晶圓的邊緣上產生瑕疵區塊，影響晶圓後續的運用。為了避免這個問題發生，在傳統的作法上通常是切除一段固定寬度的晶圓邊緣。但是除了瑕疵的區域會被切除外，可以使用的區域也會被切除掉，造成不必要的浪費。為了改善傳統的晶圓切割方法，本研究提出了一種智慧型太陽能電池晶圓切割系統，其中包含三個主要的部份：(1) 利用攝影機拍攝太陽能電池晶圓並擷取影像，再透過影像處理找出晶圓的位置，(2) 找出晶圓影像當中的瑕疵區塊，(3) 利用位能函數規劃出切割路徑，切除晶圓多餘的毛邊和瑕疵。此外，由於傳統位能函數無法有效地應用於晶圓切割，故本研究提出了兩種改良式位能函數。第一種改良式位能函數在排斥力函數當中加入了反方向的作用力，使得規劃出的路徑能夠達到理想的切割位置。第二種改良式位能函數結合了模糊理論，能夠提升位能函數的路徑規劃結果，並且有效的降低演算法的設計複雜度。實驗結果顯示了本研究所提出的兩種智慧型切割方法，均能夠有效地針對每張晶圓規劃出最佳的切割路徑，切除掉最少的晶圓邊緣，並保留下最多可用的晶圓面積。
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