隨著科技日新月異的高度發展，各產業中的精度要求日趨嚴苛，各產業為追求高品質與國際接軌而遵循ISO的品質管理精神，更是對量測系統能力越來越重視，近期迅速發展的光電在不斷精進的高科技技術扶持下，各製程產品也越來越依靠高精密的量測系統的能力，更是藉由高精度的儀器檢測做為其產品的品質保證。
校正（Calibration）與量測系統分析（Measurement Systems Analysis，MSA）為目前業界中常見的兩個評估方法，其中校正主要在確保量測儀器的準確性，MSA則用以衡量量測儀器與製程產品的量測能力，包括精確性與準確性是否符合需求標準，以維持製程產品的品質。校正與MSA雖同為量測儀器的能力評定系統卻各自獨立互不干涉更沒有評定順序之分，尤其MSA更涵蓋了重複性（Repeatability）、再現性（Reproducibility）、穩定性（Stability）、偏倚（Bias）與線性（Linearity）等五種分析方法，其中除了重複性與再現性同時執行分析以求得評價結果，統稱為GRR（Gauge Repeatability and Reproducibility）之外其餘分析方法則是個別獨立，沒有先後順序之分。
本研究將以光電產業中的TFT-LCD為研究探討對象，並以DMADV手法分析設計，將校正（Calibration）觀念融入量測系統分析（Measurement Systems Analysis，MSA），以建立量測系統分析的分析順序，並依使用需求精簡量測系統分析手法，用以減少傳統量測系統分析時不必要的分析流程，以降低人力成本的負擔，探討過程中，藉由TFT-LCD產業中對品質控管相當重要的自動光學檢測機（CD/Overlay）為驗證案例，用以驗證新量測系統分析手法符合預期構想與效果，由最終分析結果可證明導入校正觀念予以定義量測系統分析順序的結果有效，且經定義後的量測系統分析過程可明顯減少分析時間避免人力的浪費。
