TFT-LCD面板AL(鋁)蝕刻製程機台選購評選模式之建立

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Title:	TFT-LCD面板AL(鋁)蝕刻製程機台選購評選模式之建立
Authors:	林慧怡陳貴琳
Contributors:	工業工程與管理系
Keywords:	品質機能展開法（QFD） TFT-LCD薄膜電晶體液晶顯示器蝕刻製程德菲法層級分析法（AHP）
Date:	2013
Issue Date:	2013-08-16 15:07:12 (UTC+8)
Publisher:	台中;國立勤益科技大學
Abstract:	因資訊科技及數位化時代的來臨，許多數位化應用的相關產品為人類生活帶來便利性及娛樂性。我國現階段TFT-LCD面板產業由於產業結構完整且技術層次高、人才及資本密集，再加上市場集中度高等有利於市場競爭優勢之塑造，使得我國TFT-LCD面板良率提升，品質及尺寸的多元選擇，造就TFT-LCD產業蓬勃興起，具備競爭之關鍵因素，政府更將TFT-LCD面板產業列為兩兆雙星之重點執行政策產業之一。蝕刻製程是TFT-LCD面板製造的重要製程，選購蝕刻設備最重要的一環是設計的壓力、流量、溫度控制的穩定性及洗清能力之功能。機台狀況及製程參數的些微變化都會影響蝕刻時間的控制，因此必須經常檢查蝕刻速率的變化，以確保蝕刻的再現性。因此，本研究進行專家訪談，設計專家問卷，建立機台評選因素之層級架構，應用德菲法彙整專家意見，透過層級分析法分析各評選因素在專家心目中所占權重之重要性，並分析臺灣、日本、韓國三國機台符合評選因素的程度。本研究第二階段應用品質機能展開法將顧客機台選購之AHP關鍵因素轉換成機台製造商設計機台之關鍵技術，提供一個客觀且適合客戶需求機台設計之最佳方案。
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