勤益科大機構典藏:Item 987654321/6937
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    题名: 半導體設備之渦輪分子真空泵浦模態測試與振動分析
    作者: 許智能
    贡献者: 冷凍空調與能源系
    日期: 2011-03
    上传时间: 2017-12-17 15:18:58 (UTC+8)
    關聯: 真空科技Journal of the Vacuum Society of the R.O.C.
    显示于类别:[冷凍空調與能源系(所)] 【冷凍空調與能源系】期刊論文

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