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[機械工程系(所)] 【機械工程系】期刊論文
2003-07
Effect of metal vapor vacuum arc Cr-implanted interlayers on the microstructure of CrN film on silicon
Han, Sheng
;
Chen, Hong-Ying
;
Chang, Zue-Chin
;
Lin, Jian-Hong
;
Yang, Ching-Jung
;
Lu, Fu-Hsing
;
Shieu, Fuh-Sheng
;
Shih, Han-Chang
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