面板廠外氣空調箱回收製程排氣之節能策略與效益分析

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Title:	面板廠外氣空調箱回收製程排氣之節能策略與效益分析
Authors:	黃裕欣吳友烈
Contributors:	勤益科技大學冷凍空調與能源系
Keywords:	潔淨室節能製程排氣外氣空調箱
Date:	2009-10-14
Issue Date:	2012-08-27 09:39:55 (UTC+8)
Publisher:	台中市：國立勤益科技大學工程學院
Abstract:	影像顯示器產業(TFT-LCD)往往需要靠大量之製程排氣，將製程機台生產運轉過程中所產生之酸、鹼、有機溶劑、毒性氣體、高溫氣體、高濕氣體及含有particle之製程排氣排出潔淨室，進行處理後再行排放，以避免大量化學品之擴散，造成交互污染影響產品或影響操作人員安全；而潔淨室亦需控制為正壓來避免外界空氣滲入之污染，因此皆設有外氣空調箱(Make-up Air Unit ,MAU)，供應大量之外氣來維持潔淨室之正壓。台灣地區夏季既熱且濕，外氣空調箱所供應之外氣，需經過多道溫溼度調節控制之過程，在處理過程中將耗用大量空調之能源；大量製程排氣需求，導致外氣空調箱之供應風量隨之增大，造成冰水系統負載之增加，MAU之整體實質能源消耗佔面板廠總電力需求之比重超過12%，透過製程排氣回收再利用，減少MAU之供應風量，減輕冰水系統之負載，對節能減廢具有顯著之成效。
Relation:	2009綠色科技工程與應用研討會論文集, 66-72
Appears in Collections:	[Department of Refrigeration & Air Conditioning] 【冷凍空調與能源系】研討會論文

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