勤益科大機構典藏:Item 987654321/3815
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    題名: 面板廠外氣空調箱回收製程排氣之節能策略與效益分析
    作者: 黃裕欣
    吳友烈
    貢獻者: 勤益科技大學冷凍空調與能源系
    關鍵詞: 潔淨室節能
    製程排氣
    外氣空調箱
    日期: 2009-10-14
    上傳時間: 2012-08-27 09:39:55 (UTC+8)
    出版者: 台中市:國立勤益科技大學工程學院
    摘要: 影像顯示器產業(TFT-LCD)往往需要靠大量之製程排氣,將製程機台生產運轉過程中所產生之酸、鹼、有機溶劑、毒性氣體、高溫氣體、高濕氣體及含有particle之製程排氣排出潔淨室,進行處理後再行排放,以避免大量化學品之擴散,造成交互污染影響產品或影響操作人員安全;而潔淨室亦需控制為正壓來避免外界空氣滲入之污染,因此皆設有外氣空調箱(Make-up Air Unit ,MAU),供應大量之外氣來維持潔淨室之正壓。
    台灣地區夏季既熱且濕,外氣空調箱所供應之外氣,需經過多道溫溼度調節控制之過程,在處理過程中將耗用大量空調之能源;大量製程排氣需求,導致外氣空調箱之供應風量隨之增大,造成冰水系統負載之增加,MAU之整體實質能源消耗佔面板廠總電力需求之比重超過12%,透過製程排氣回收再利用,減少MAU之供應風量,減輕冰水系統之負載,對節能減廢具有顯著之成效。
    關聯: 2009綠色科技工程與應用研討會論文集, 66-72
    顯示於類別:[冷凍空調與能源系(所)] 【冷凍空調與能源系】研討會論文

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