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    題名: 鑽石顆粒電鍍於切割線之研究
    作者: 李志士
    黃彥傑
    許哲彰
    張益三
    貢獻者: 國立勤益科技大學
    關鍵詞: 切割線
    鑽石
    電鍍
    日期: 2013-05-24
    上傳時間: 2013-07-05 15:27:24 (UTC+8)
    出版者: 台中;滄海書局
    摘要: 鑽石切割線為目前先進國家IC產業設備中主要耗材之一,目前常使用切割線搭配研磨液但因環保
    意識抬頭未來將採用鑽石切割線進行IC切割製程。本研究提出不同電鍍方式將鑽石顆粒鍍於線材上,
    並分析其結果,也探討鑽石成本對於品質的影響。同時提出採用走動式電鍍方式可將鑽石均勻分佈於
    線材表面降低累積狀態,而電鍍時間約65分,使用最低的80~90顆鑽石顆粒數達成最佳的切割線品質。
    關聯: 2013綠色科技工程與應用研討會
    顯示於類別:[化工與材料工程系(所)] 【化工與材料工程系所】研討會論文

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