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化工與材料工程系(所)
--【化工與材料工程系所】研討會論文
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Item 987654321/4127
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題名:
鑽石顆粒電鍍於切割線之研究
作者:
李志士
黃彥傑
許哲彰
張益三
貢獻者:
國立勤益科技大學
關鍵詞:
切割線
鑽石
電鍍
日期:
2013-05-24
上傳時間:
2013-07-05 15:27:24 (UTC+8)
出版者:
台中;滄海書局
摘要:
鑽石切割線為目前先進國家IC產業設備中主要耗材之一,目前常使用切割線搭配研磨液但因環保
意識抬頭未來將採用鑽石切割線進行IC切割製程。本研究提出不同電鍍方式將鑽石顆粒鍍於線材上,
並分析其結果,也探討鑽石成本對於品質的影響。同時提出採用走動式電鍍方式可將鑽石均勻分佈於
線材表面降低累積狀態,而電鍍時間約65分,使用最低的80~90顆鑽石顆粒數達成最佳的切割線品質。
關聯:
2013綠色科技工程與應用研討會
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[化工與材料工程系(所)] 【化工與材料工程系所】研討會論文
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