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    題名: 變更電漿輔助化學氣相沈積零組件驗證鍍膜製程技術
    作者: 孫嘉鴻
    吳奕達
    李宗信
    楊思華
    吳以德
    曾坤三
    貢獻者: 國立勤益科技大學
    關鍵詞: 電漿輔助化學氣相沈積
    擴散板
    太陽能電池
    日期: 2013-05-24
    上傳時間: 2013-07-12 15:59:17 (UTC+8)
    出版者: 台中;滄海書局
    摘要: 本研究技術目的為達成驗證本土開發零組件鍍膜，協助資源發展光電半導體設備零組件，規劃以
    變更電漿輔助化學氣相沈積Shower Head，建立光電半導體用零組件驗證，希望能發展出領先技術及自
    主開發整合整線生產。 研究工作為配合新開發自行設計擴散板PECVD 關鍵零組件，做實際鍍膜測試，
    改變腔體內部流場，去尋找鍍出非(微)晶矽薄膜不同特性。電漿強化化學氣相沉積系統主要是提供薄膜
    沉積的重要設備，應用在太陽能電池的製作，開發低溫製程製作微晶矽薄膜、多晶矽薄膜、高鍍率高
    品質薄膜沉積技術作為提升轉換效率的關鍵技術。
    關聯: 2013綠色科技工程與應用研討會
    顯示於類別:[機械工程系(所)] 【機械工程系】研討會論文

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