具溫度補償型表面聲波應變計

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Title:	具溫度補償型表面聲波應變計
Authors:	黃智勇黃柏憲
Contributors:	國立勤益科技大學
Keywords:	表面聲波應變計表面聲波傳感器負載量測
Date:	2013-05-24
Issue Date:	2013-07-17 14:51:10 (UTC+8)
Publisher:	台中;滄海書局
Abstract:	本文中以 41°YX 鋰酸鈮(LiNbO3)為表面聲波應變計基底材料，其波傳形式為水平剪向洩漏(SH wave)表面聲波，具更較快的傳播速度與較高的機電耦合係數。為了分析負載的應變和應力變化，實驗設計以41°YX 鋰酸鈮為基底，其中心頻率約為59.9MHz 和119.8 的雙延遲線型表面聲波共振器，和單埠表面聲波諧振器。利用表面聲波應變計受到應力而產生應變，使其電鍍在鋰酸鈮表面的薄膜金屬鋁的間距產生變化，進而改變其中心頻率。依據其中心頻率的改變量，可以推估負載重量。模擬中使用PCB 玻璃纖維板作為試驗片假設，配合公式推估其中心頻率偏移量、衰減等。模擬結果顯示負載與中心頻率偏移量呈線性關係。且模擬溫度對表面聲波應變計的影響，並加以補償修正，使其表面聲波應變計在應用上更為精準。
Relation:	2013綠色科技工程與應用研討會
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