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    題名: 具溫度補償型表面聲波應變計
    作者: 黃智勇
    黃柏憲
    貢獻者: 國立勤益科技大學
    關鍵詞: 表面聲波
    應變計
    表面聲波傳感器
    負載量測
    日期: 2013-05-24
    上傳時間: 2013-07-17 14:51:10 (UTC+8)
    出版者: 台中;滄海書局
    摘要: 本文中以 41°YX 鋰酸鈮(LiNbO3)為表面聲波應變計基底材料，其波傳形式為水平剪向洩漏(SH
    wave)表面聲波，具更較快的傳播速度與較高的機電耦合係數。為了分析負載的應變和應力變化，實
    驗設計以41°YX 鋰酸鈮為基底，其中心頻率約為59.9MHz 和119.8 的雙延遲線型表面聲波共振器，
    和單埠表面聲波諧振器。利用表面聲波應變計受到應力而產生應變，使其電鍍在鋰酸鈮表面的薄膜金
    屬鋁的間距產生變化，進而改變其中心頻率。依據其中心頻率的改變量，可以推估負載重量。模擬中
    使用PCB 玻璃纖維板作為試驗片假設，配合公式推估其中心頻率偏移量、衰減等。模擬結果顯示負
    載與中心頻率偏移量呈線性關係。且模擬溫度對表面聲波應變計的影響，並加以補償修正，使其表面
    聲波應變計在應用上更為精準。
    關聯: 2013綠色科技工程與應用研討會
    顯示於類別:[機械工程系(所)] 【機械工程系】研討會論文

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